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AMC2000
O controlador de fluxo de gás de massa AMC2000, abreviado como MFC, é um dispositivo que mede e controla com precisão a taxa de fluxo de massa dos gases.
O sensor adota um chip de fluxo de massa MEMS auto-desenvolvido, que é preciso, estável e possui características como resistência à alta e baixa temperatura, boa linearidade e tempo de resposta rápido.
O intervalo AMC2000, precisão, repetibilidade, tempo de resposta etc. foram calibrados antes de sair da fábrica.
Parâmetro do produto
Os controladores de fluxo de massa de gás estão conectados à linha de suprimento de gás para controlar com precisão o fluxo de gás na câmara de reação de acordo com o valor definido para garantir o tempo de resposta e a estabilidade do gás durante o processo de crescimento ou gravura dos materiais semicondutores.
O controlador de fluxo de massa gasoso é conectado ao lado do suprimento de oxigênio do ventilador para ajustar o fluxo de oxigênio ao paciente em tempo real, de acordo com a condição do paciente, para garantir que o paciente obtenha a concentração precisa da inalação de oxigênio.
Os controladores de fluxo de massa estão conectados a várias fontes experimentais de gás para fornecer uma taxa de fluxo definida de gás estabilizado para o equipamento experimental para garantir a consistência das condições experimentais e melhorar a repetibilidade dos experimentos.
O controlador de fluxo de gás de massa AMC2000, abreviado como MFC, é um dispositivo que mede e controla com precisão a taxa de fluxo de massa dos gases.
O sensor adota um chip de fluxo de massa MEMS auto-desenvolvido, que é preciso, estável e possui características como resistência à alta e baixa temperatura, boa linearidade e tempo de resposta rápido.
O intervalo AMC2000, precisão, repetibilidade, tempo de resposta etc. foram calibrados antes de sair da fábrica.
Parâmetro do produto
Os controladores de fluxo de massa de gás estão conectados à linha de suprimento de gás para controlar com precisão o fluxo de gás na câmara de reação de acordo com o valor definido para garantir o tempo de resposta e a estabilidade do gás durante o processo de crescimento ou gravura dos materiais semicondutores.
O controlador de fluxo de massa gasoso é conectado ao lado do suprimento de oxigênio do ventilador para ajustar o fluxo de oxigênio ao paciente em tempo real, de acordo com a condição do paciente, para garantir que o paciente obtenha a concentração precisa da inalação de oxigênio.
Os controladores de fluxo de massa estão conectados a várias fontes experimentais de gás para fornecer uma taxa de fluxo definida de gás estabilizado para o equipamento experimental para garantir a consistência das condições experimentais e melhorar a repetibilidade dos experimentos.
